1、指标评估的对象不同：

灵敏度评估的对象是传感器的输出和输入之间的关系。分辨率是指传感器可感受到的被测量的最小变化的能力。精度用来评估传感器测量系统测量精度。

2、表示方法不同：

灵敏度表示为：输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。它是输出一输入特性曲线的斜率。灵敏度的量纲是输出、输入量的量纲之比。分辨率常用满量程中能使输出量产生阶跃变化的输入量中的*变化值作为衡量分辨率的指标。精度常用精确度来表示。

3、精度是表示测量值离散的程度；灵敏度指示器的相对于被测量变化的位移率；分辨力是显示装置能有效辨别的最小的示值差。

精度：是表示测量值离散的程度。在对一个量进行无穷多次测量时，测量结果会呈现下图所示的正态分布。测量仪表（包括传感器）的精度就是指测量结果 99.73% 的可能（这里跳过关于统计学知识的讨论）偏离真值的范围。对于测量仪器来说，精度是一个定性的概念，一般不用数值表达。

和精度相类似的仪器指标还有准确度：指在一定实验条件下多次测定的平均值与真值相符合的程度，以误差来表示。例如：

仪器允许产生的误差为量程的0.5%。即准确度0.5%或0.5级；

仪器允许产生的误差为正负某个数值。

精度和准确度有相似性，但两者的定义是不同的。精度是表示测量值离散的程度。准确度表示观测值与真值的接近程度。平常所说的“精度”实际上很多时候是指准确度。

灵敏度：指示指（输出）的相对于被测量变化的位移率。在数值上指测量仪器响应的变化除以对应的激励变化。由于灵敏度可能与激励值有关。所以不同仪器对于灵敏度的数值或表达方式的会有所不同。对于传感器来说，常见的是以传感器的阙值（能使传感器输出端产生可测变化量的被测量的最小变化量）来表示。

分辨力：显示装置能有效辨别的最小的示值差。对于数字式显示装置，这就是当变化一个末位有效数字时其示值的变化。此概念亦适用于记录仪

其它相关指标：

1、线性度：指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的*偏差值与满量程输出值之比。

2、迟滞：传感器在输入量由小到大（正行程）及输入量由大到小（反行程）变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号，传感器的正反行程输出信号大小不相等，这个差值称为迟滞差值。

3、重复性：重复性是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时，所得特性曲线不一致的程度。

4、漂移：传感器的漂移是指在输入量不变的情况下，传感器输出量随着时间变化，此现象称为漂移。产生漂移的原因有两个方面：一是传感器自身结构参数；二是周围环境（如温度、湿度等）